[20a-PA6-1~9] 8.4 プラズマライフサイエンス

[20a-PA6-1] 大気圧プラズマ中の活性種生成過程に対するプラズマ発生条件の影響評価

〇長門 研吉¹、徳弘 大輝¹、瀬戸 貴仁²、栗田 弘史²、高島 和則² (1.高知高専、2.豊橋技科大)

キーワード：大気圧プラズマ、反応活性種、質量分析

大気圧プラズマ中の活性種の生成過程が、キャリアガスの種類、添加ガスの種類と割合、放電電圧の大きさとその周波数などプラズマ発生条件からどのような影響を受けるのかを、大気圧イオン化質量分析装置を用いて計測・分析した。