[20p-PB4-1~94] 2 放射線（ポスター）

[20p-PB4-82] ２００素子超伝導トンネル接合検出器アレイを用いたＸ線吸収分光装置の開発

〇志岐 成友¹、藤井 剛¹、浮辺 雅宏¹ (1.産総研)

キーワード：超伝導検出器、Ｘ線吸収分光

バルク材料に含まれる微量軽元素のＸ線吸収スペクトル測定を実現するため、高エネルギー分解能（元素選択性）と高感度を同時に実現する、200画素超伝導トンネル接合(STJ)検出器アレイと放射光を組み合わせた、蛍光収量法によるＸ線吸収分光装置を開発した。検出器の性能評価を行い、回路が用意できた160チャンネルのうち143チャンネルが動作し、エネルギー分解能は 11.0 eV +- 1.7 eV であった。従来の100素子の場合と比べて歩留まりはやや不十分であるが、分光性能は遜色ない。