[21a-C309-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

△ [21a-C309-2] 水熱合成法で作製した(K_xNa_1-x)NbO₃自己分極膜の圧電特性の評価

〇(D)舘山 明紀¹、伊東 良晴¹、清水 荘雄¹、折野 裕一郎¹、黒澤 実¹、吉村 武²、舟窪 浩¹ (1.東工大、2.大阪府立大)

キーワード：圧電体、水熱合成

水熱合成法で作製した(K,Na)NbO3膜について、正逆の圧電応答より圧電定数e_31,fを評価し、圧電性の発現に分極処理を必要としない自己分極膜であることを前回報告した。本発表ではさらなる圧電特性の評価を行ったので報告する。