PDF ダウンロード スケジュール 36 いいね! 2 コメント (0) 13:30 〜 13:45 [21p-B31-4] HVPE法を用いたβ-Ga2O3成長における成長温度と供給VI/III比の影響 〇後藤 健1、三浦 遼1、加茂 崇1、竹川 直1、村上 尚1,2、熊谷 義直1,2 (1.東京農工大、2.東京農工大IGIR) キーワード:酸化ガリウム、ハライド気相成長