14:45 〜 15:00 [11p-W541-6] [講演奨励賞受賞記念講演] 波長変換デバイスに向けたスパッタ成膜AlNの極性制御 〇林 侑介1、上杉 謙次郎2、正直 花奈子3、片山 竜二4、三宅 秀人1,3 (1.三重大院地域イノベ、2.三重大地域創生戦略企画室、3.三重大院工、4.阪大院工)