15:45 〜 16:15 [10p-W933-6] ミラー電子顕微鏡によるSiCウェハ表面微小欠陥検出 〇長谷川 正樹1、小林 健二1、兼岡 則幸1、尾方 智彦1、大平 健太郎1、川上 和弘1、郡司 毅志1、小貫 勝則1 (1.日立ハイテク)