13:30 〜 15:30 [11p-PB3-15] Mgイオン注入後高温熱処理前のGaNの電気的特性に対するドーズ量の影響(2) 〇(M1)鴨志田 亮1、植竹 啓1、村井 駿太1、赤澤 正道1 (1.北大量集センター)