16:00 〜 18:00 [10p-PA8-14] HF-CVD 法によるシリコン系材料へのグラファイト形成 〇橋爪 瑞葵1、高綱 藻1、清水 麻希1、加藤 大樹2、橋本 巖1、本間 芳和1 (1.東理大理、2.JEOL)