16:00 〜 18:00 [10p-PB5-41] MoS2スパッタ膜の硫化処理とラマン評価 〇山内 翔1、関 健太1、蓮池 紀幸1、西尾 弘司1、木曽田 賢治2、鴨井 督3 (1.京工繊大、2.和歌山大、3.京都府中小企業技術センター)