16:45 〜 17:00 [11p-M116-15] テラヘルツ波3次元イメージング技術を用いた壁面内部欠陥診断に関する研究 〇椴山 誉1,2,3、佐々木 芳彰2、吉峯 功2、永野 繁憲1、湯浅 哲也3、大谷 知行2 (1.トプコン、2.理研 光量子工学研究センター、3.山形大)