14:15 〜 14:30 △ [11p-W541-4] 反応性スパッタ法を用いたMnS/Si (100)上への無極性AlN薄膜作製条件の検討 〇立島 滉大1,2、長田 貴弘2、石橋 啓次2,3、高橋 健一郎2,3、鈴木 摂2,3、小椋 厚志1、知京 豊裕2 (1.明治大、2.物質材料研究機構、3.株式会社コメット)