11:15 〜 11:30 [10a-M121-9] 塩素中性粒子ビームによる窒化ガリウム原子層エッチング 〇菅原 健太1、大堀 大介2、井上 和孝1、寒川 誠二2,3 (1.住友電工、2.東北大流体研、3.東北大AIMR)