14:45 〜 15:00 △ [9p-W611-5] 透明導電膜のスパッタリング堆積による下地へのダメージ評価 〇西原 達平1、神岡 武文1、金井 皓輝1、大下 祥雄2、大川 登志郎3、小椋 厚志1 (1.明治大、2.豊田工大、3.シエンタオミクロン)