09:30 〜 11:30 [10a-PA3-10] 強誘電体膜作成基板における残留プロトンの検討 〇山口 正樹1,2、増田 陽一郎3、山﨑 美沙1、平出 惇1 (1.芝浦工大工、2.芝浦工大RCGI、3.八戸工大工)