16:30 〜 16:45 △ [10p-S421-4] 薄膜転写手法を用いた封止キャビティ構造のMEMS光干渉型表面応力センサの作製 〇高橋 利昌1、崔 容俊1、丸山 智史1、瀧 美樹1、澤田 和明1、高橋 一浩1,2 (1.豊橋技科大、2.JST さきがけ)