[10a-M113-1~6] 6.2 カーボン系薄膜

△ [10a-M113-4] 周期的N-DLC/WC積層構造を持つ導電性耐摩耗膜の作製

〇爲國 公貴¹、針谷 達¹、出貝 敏¹、谷本 壮¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、鷹合 滋樹²、安井 治之²、金子 智³、國次 真輔⁴、神谷 雅男⁵、瀧 真⁶ (1.豊橋技科大、2.石川工試、3.神奈川県立産総研、4.岡山県工技センター、5.伊藤光学、6.オンワード技研)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、周期的積層膜

ICチップの製品検査に用いるコンタクトピンの表面保護膜として導電性耐摩耗コーティングが求められている。本研究では，窒素含有DLC（N-DLC）膜よりも高い導電性を持つ保護膜を目指して，N-DLC膜と炭化タングステン（WC）膜とを周期的に積層した。N-DLC/WC積層膜はN-DLC単層膜に比べて耐摩耗性が向上した。また，N-DLC/WC積層膜の電気抵抗率はN-DLC単層膜の約半分程度であった。