[10a-PA2-1~11] 3.8 光計測技術・機器

[10a-PA2-4] 位相子回転型イメージングエリプソメータのデータ処理

〇飯塚 祐基¹、金 蓮花¹、近藤 英一¹、ジェローズ ベルナール²、上原 誠³ (1.山梨大学工、2.名古屋大工、3.目白67)

キーワード：イメージングエリプソメータ、最小二乗法、フーリエ級数

イメージングエリプソメトリーは試料の光学定数分布や膜厚分布の測定が可能のことから幅広い分野での応用が期待されている．位相子回転法は安定かつ高精度の測定ができるため，点計測用分光エリプソメータの主流になっている．位相子回転型イメージングエリプソメータの位相子の回転と共に変調される光強度のフーリエ級数を求めるために，最小二乗法を用いた．ここでは， 本方法の検証実験およびその結果について述べる．