[10a-PA2-1~11] 3.8 光計測技術・機器

[10a-PA2-5] 低コヒーレンス干渉計によるトモグラフィック屈折率計測

〇(M1)唐澤 悠太朗¹、郡司 翔平¹、塩田 達俊¹ (1.埼大理工)

キーワード：低コヒーレンス干渉、屈折率計測

低コヒーレンス干渉による形状計測において、取得した多層試料の断層像から各界面の信号ごとにフーリエ変換とヒルベルト変換を用いた解析アルゴリズムを適用することで電界スペクトルを取得できることをすでに示している。本講演では，試料の実際の厚さを別途計測する必要なく，多層試料の層毎の屈折率スペクトルを求めることを目的として、光源には可視光領域を出力するスーパーコンティニューム光源を含む実験装置の制御系を改良した．