09:30 〜 11:30
[10a-PA3-2] 正圧電応答顕微鏡によるP(VDF-TrFE)膜の圧電評価
キーワード:P(VDF-TrFE)、ドメイン、正圧電効果
代表的な強誘電ポリマーP(VDF-TrFE)は、優れた圧電特性や焦電特性を有することで知られている。我々は、P(VDF-TrFE)薄膜を用いた圧電MEMS超音波トランスデューサー(pMUT)の開発を目指しており、本研究においてはP(VDF-TrFE)薄膜のd33圧電定数の評価に取り組んでいる。逆圧電効果によるd33定数の測定は報告されているが、正圧電効果による測定例はほとんどない。そこで今回は、正圧電応答顕微鏡法(DPRM)を用いてP(VDF-TrFE)薄膜のd33定数の評価およびドメイン構造の観察を行った。