[10p-M116-1~22] 9.1 誘電材料・誘電体

[10p-M116-3] プローブ後方の共振現象を利用した300 GHz帯での材料計測技術

〇坂巻 亮^1,2、堀部 雅弘¹、鶴見 敬章² (1.産業技術総合研究所、2.東工大)

キーワード：誘電体、測定技術、ミリ波

高周波プローブを伝送線路の半ばに接触させた時の、プローブの前方と後方に伝搬する信号の共振現象を利用した材料計測技術について、300GHz帯における材料の誘電特性の評価の初期検討結果について報告する。ミリ波帯(30～300 GHz)において比誘電率は9.2～10となり、THz-TDS法と比べて整合性のある結果を得る事ができた。