[10p-PA5-1~13] 6.5 表面物理・真空

[10p-PA5-6] 低ガラス転移点を有する高分子材料を用いた希少金属の集積蒸着

〇(M2)王 陸¹、辻岡 強¹ (1.阪教大院)

キーワード：真空蒸着、集積、金属

我々は、低ガラス転移点を有するポリジメチルシロキサン(PDMS)膜表面からの金属蒸気原子離脱現象に基づいた、高効率集積蒸着について報告してきた。この技術によって、希少金属であるInを高効率に3Dターゲットにコーティング出来る。本研究では、集積蒸着の際のPDMSの汚染と、蒸着後の膜厚変動について検討した。その結果、蒸着ソースに近いほど膜厚が厚くなり、PDMS汚染が起きていることが判明した。