[10p-PB5-1~55] 17 ナノカーボン（ポスター）

[10p-PB5-48] アルカリ塩をアシスト剤に用いた気相成長単層MoS₂及びWS₂のFET応用

〇五十嵐 玲太¹、白井 肇¹、上野 啓司¹ (1.埼玉大院理工)

キーワード：層状物質、化学気相成長、電界効果トランジスタ

MoS₂やWS₂等の遷移金属ダイカルコゲナイドは、アルカリ塩をアシスト剤として化学気相成長(CVD)法や物理気相成長(PVD)法により大面積薄膜が得られることがわかっている。本研究では、アルカリ塩をアシスト剤として成長させた薄膜を用いて電界効果トランジスタ(FET)を作製し、性能の評価を行った。また、アシスト剤の違いによるFET特性への影響を調査した。