[10p-S221-1~10] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[10p-S221-3] [第10回シリコンテクノロジー分科会論文賞受賞記念講演] 光電子分光ホログラフィーによるAsドープSi中のドーパント複数サイトの原子配列イメージング

〇筒井 一生¹、松下 智裕²、名取 鼓太郞¹、室 隆桂之²、森川 良忠³、星井 拓也¹、角嶋 邦之¹、若林 整¹、林 好一⁴、松井 文彦⁵、木下 豊彦² (1.東工大、2.高輝度光科学研究センター、3.阪大、4.名工大、5.分子研)

キーワード：光電子ホログラフィー、ドーパント、イメージング