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[10p-S423-7] X線光電子分光における時空間計測・解析手法の開発
キーワード:埋もれた界面、X線光電子分光、時空間解析
我々は、埋もれた物質界面の”動態”を直接観測し、材料プロセス設計に活用できる技術を構築するため、雰囲気制御X線光電子分光のデータ計測・解析手法の開発に取り組んでいる。今回、数万〜10万本の時空間分割スペクトルを高速にピークフィッティングし、深さ方向分布の時系列解析へと連動させ、機械学習により評価するソフトウェアを構築した。発表では、多層界面の4次元可視化、人工知能による解析自動化について議論したい。