[11a-M113-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[11a-M113-9] ピコ秒レーザー超音波スペクトロスコピーによる高濃度Bドープダイヤモンドの弾性定数測定

〇鹿田 真一¹、長久保 白²、荻 博次² (1.関学大　理工、2.大阪大　工)

キーワード：ダイヤモンド、弾性定数、Bドープ

Bドープダイヤモンドは、ドーピングにより抵抗率がE14からE-3Ωcmまで17桁も激変する事が知られており、機械・電気的に応用されているが、弾性的性質はよくわかっていない。今回ピコ秒レーザー超音波スペクトロスコピーにより、高濃度Bドープ結晶（300ppm）の計測を試みた。HPHT合成の(100),(110)及び(111)の3つの面を試料として用いた。弾性率は(100)面で1073.8GPa、(110)面で1182.3GPa、(111)面で1219.8GPaであり、絶縁性ダイヤの弾性率の報告例と比べて、各々-0.093%, 0.045%,0.086%であった。