[11a-PA1-1~7] 3.1 光学基礎・光学新領域

[11a-PA1-7] 微小構造間に働く極微弱力計測システムの開発

〇(D)紫垣 政信¹、田中 嘉人^1,2、志村 努¹ (1.東大生研、2.JST さきがけ)

キーワード：相互作用力、静電気力、カシミール力

近年、様々な分野に応用されているMEMSは、シリコンや金属を向かい合わせた多数の微小構造をもつ。このMEMSを高精度に制御するには、静電気力やカシミール力といった微小構造間に働く様々な極微弱力の理解が必要不可欠である。そこで我々は、常温大気中で微小構造間に働く極微弱力のふるまいを明らかにするため、マイケルソン干渉計を応用した極微弱力計測システムの構築を進めている。