[11a-W242-1~7] エネルギーハーベスティングの新展開

[11a-W242-3] 圧電薄膜を用いた振動発電技術

〇神野 伊策¹ (1.神戸大工)

キーワード：圧電薄膜、振動発電

圧電薄膜を用いた振動発電技術は、MEMS技術を利用することにより、将来的には各種センサとの集積化、また素子サイズの小型化によるコストダウンも期待できる。本講演では、圧電薄膜技術および振動発電素子への応用に関して、これまでの取り組みを中心に紹介する。