[11a-W934-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [11a-W934-2] 3軸Au錘MEMS加速度センサにおける平行平板型電極の検討

〇市川 崇志¹、新島 宏文¹、古賀 達也¹、山根 大輔¹、飯田 慎一²、伊藤 浩之¹、石原 昇¹、曽根 正人¹、町田 克之¹、益 一哉¹ (1.東工大、2.NTT-AT)

キーワード：MEMS加速度センサ