[11p-M116-1~15] 1.5 計測技術・計測標準

[11p-M116-1] 【注目講演】ナノ材料の熱物性の計測に向けたマイクロスケール熱電対の開発

〇花村 友喜¹、山田 亮¹、夛田 博一¹ (1.阪大院基礎工)

キーワード：薄膜熱電対、温度計測、微細加工

本研究では、ナノ材料の熱物性の計測に向けて、マイクロスケールの薄膜熱電対を作製・校正した。熱電対の材料に、金、クロム、ニッケルの3種類の金属薄膜を用いたところ、作製した熱電対の起電力はバルクよりも小さい値を示し、膜厚依存性が確認された。