[11p-M116-1~15] 1.5 計測技術・計測標準

[11p-M116-7] 液中AFMを用いた半導体ウェーハ洗浄用PVAブラシ表面の吸着力計測

〇五十嵐 陽彦¹、吉野 巧¹、宮田 一輝^1,2、宮澤 佳甫²、宇野 恵³、高東 智佳子³、福間 剛士^1,2 (1.金大理工、2.金大NanoLSI、3.荏原製作所)

キーワード：原子間力顕微鏡、ポリビニルアルコール、吸着力