2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

15 結晶工学 » 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

[11p-PA4-1~13] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

2019年3月11日(月) 13:30 〜 15:30 PA4 (屋内運動場)

13:30 〜 15:30

[11p-PA4-12] tBGeを用いたSi(001)基板上へのGe薄膜成長における成長温度の影響

岩本 晃一郎1、秋田 裕紀1、白倉 翔太郎1、河野 将大1、鈴木 秀俊1 (1.宮崎大工)

キーワード:ゲルマニウム、シリコン