[11p-S223-1~16] 13.8 光物性・発光デバイス

[11p-S223-1] 高熱伝導サブマウントを用いた量子カスケードレーザの特性評価

〇角野 努¹、橋本 玲¹、金子 桂¹、斎藤 真司¹、高木 茂行² (1.東芝生産技術センター、2.東京工科大)

キーワード：量子カスケードレーザ

量子カスケードレーザ（QCL）において、活性層で発生した熱の放熱性向上のため、高熱伝導サブマウントとして多結晶ダイヤモンド材の適用を検討した。熱伝導解析を行い、サブマウントは熱拡散に有効で、QCL素子の温度を低減できることが分かった。また、電流-光出力評価を行い、高出力化に向けサブマウントが有効であることが分かった。