[11p-W321-1~14] 13.9 化合物太陽電池

[11p-W321-10] 非クリーンルーム環境における直接半導体ウェハ接合法の検討

〇井上 諒一¹、竹原 凪人¹、田辺 克明¹ (1.京大工)

キーワード：半導体ウェハ接合、多接合太陽電池、非クリーンルーム環境

ウェハ接合は、低結晶欠陥密度の格子不整合ヘテロ構造形成法であり、高効率な多接合太陽電池の作製につながる。本研究では環境中の微粒子のウェハ接合への影響を系統的に調べ、適切な表面前処理を施すことによってクリーンルームではない通常の大気下における高機械強度・高導電性の接合形成を実現した。これによりセルの低コスト生産が期待される。