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[11p-W321-10] 非クリーンルーム環境における直接半導体ウェハ接合法の検討
キーワード:半導体ウェハ接合、多接合太陽電池、非クリーンルーム環境
ウェハ接合は、低結晶欠陥密度の格子不整合ヘテロ構造形成法であり、高効率な多接合太陽電池の作製につながる。本研究では環境中の微粒子のウェハ接合への影響を系統的に調べ、適切な表面前処理を施すことによってクリーンルームではない通常の大気下における高機械強度・高導電性の接合形成を実現した。これによりセルの低コスト生産が期待される。