2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.9 化合物太陽電池

[11p-W321-1~14] 13.9 化合物太陽電池

2019年3月11日(月) 13:45 〜 17:30 W321 (W321)

渡辺 健太郎(東大)、庄司 靖(産総研)

16:15 〜 16:30

[11p-W321-10] 非クリーンルーム環境における直接半導体ウェハ接合法の検討

井上 諒一1、竹原 凪人1、田辺 克明1 (1.京大工)

キーワード:半導体ウェハ接合、多接合太陽電池、非クリーンルーム環境

ウェハ接合は、低結晶欠陥密度の格子不整合ヘテロ構造形成法であり、高効率な多接合太陽電池の作製につながる。本研究では環境中の微粒子のウェハ接合への影響を系統的に調べ、適切な表面前処理を施すことによってクリーンルームではない通常の大気下における高機械強度・高導電性の接合形成を実現した。これによりセルの低コスト生産が期待される。