[11p-W321-1~14] 13.9 化合物太陽電池

[11p-W321-11] 液相合成ZnO透明導電膜を介した半導体接合技術の開発

〇山下 達之¹、平田 桑一朗¹、岸部 航大¹、井上 諒一¹、田辺 克明¹ (1.京大工)

キーワード：透明導電膜、半導体ウェハ接合、多接合太陽電池

ウェハ直接接合法は，格子整合の制約を受けずに材料の組み合わせを選択できるため，多接合太陽電池の作製に有望である。しかし，ウェハ表面の粒子やラフネスが接合強度や導電性を悪化させるため，接合環境や材料種，成長条件が限定される。本研究では，接合形成と同時に液相より合成されるZnO膜を介した接合法により，これらの制約を緩和しつつ光透過性および導電性を有する半導体界面を形成するとともに，太陽電池の試作を行った。