[11p-W321-1~14] 13.9 化合物太陽電池

[11p-W321-5] Templated-Liquid-Phase (TLP) 法によるInP成膜におけるキャップ・下地各層の潜在的機能の解明

〇(PC)勝部 涼司¹、Yang Yuming¹、野瀬 嘉太郎¹ (1.京大院工)

キーワード：リン化インジウム、薄膜太陽電池、化学熱力学

Templated-Liquid-Phase (TLP) 法は、任意基板上に高品質なInP薄膜を作製する手法として近年注目を集めている。TLP 法における前駆体の積層構造は, SiOx/In/下地層であり、特にMoやMoOxを下地に用いた場合InPの平坦な連続膜を作製できる。本研究では、SiOxキャップ層とMo系下地層の機能について系統的に再検討した結果、先行研究では想定されていなかった機能を明らかにした。その結果、より簡便に InP を成膜可能なプロセス開発に成功した。