[11p-W621-1~18] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

[11p-W621-9] 電子線蒸着法によって成膜したNi触媒層の膜厚がCNT成長へ及ぼす影響

〇(M1)中本 啓志¹、森 健斗¹、關 雅志²、李 相錫¹ (1.鳥取大工、2.東芝テック株式会社)

キーワード：カーボンナノチューブ、Ni触媒層、電子線蒸着法

SWCNTの物理吸着特性を応用し意図的に配置できれば、大気中の揮発性有機化合物 (Volatile Organic Compounds：VOC) ガス成分を検知するデバイスを作製することが可能である。このため任意の位置にSWCNTを生成するための条件が求められる。本報告では、電子線蒸着法によって成膜したNi触媒層の膜厚が、グレイン形成およびCNT成長に及ぼした結果を報告する。