2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[12a-M113-1~8] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2019年3月12日(火) 09:30 〜 11:30 M113 (H113)

澤野 憲太郎(都市大)

10:30 〜 10:45

[12a-M113-5] 水浸ラマン分光法によるパターン加工したカーボンドープシリコンにおける歪緩和の評価

吉岡 和俊1、横川 凌1,2、澤本 直美1、小椋 厚志1 (1.明治大学、2.学振特別研究員DC)

キーワード:ラマン分光法、カーボンドープシリコン