[12a-PA1-1~12] 1.5 計測技術・計測標準

[12a-PA1-2] 高湿度標準発生装置の圧力制御に関する研究

〇石渡 尚也¹、丹羽 民夫¹、阿部 恒¹ (1.産総研 計量標準総合センター)

キーワード：高湿度、湿度発生装置、圧力制御

様々な分野で用いられる湿度計の性能評価において、湿度の定まった気体である湿度標準が重要となる。本研究では高湿度の標準に関し、発生露点の高精度化を目指し、発生装置の圧力制御を行う自動制御システムを開発した。本装置が発生する空気の露点は、装置内の温度や圧力により定まる。本発表では、温度変動による発生露点の変動に関し、圧力制御により露点変動の抑制を行った結果を報告する。