[12a-PB1-1~9] 8.1 プラズマ生成・診断

[12a-PB1-4] 細径ノズルから噴射される大気圧μプラズマの流体解析

〇吉木 宏之¹、乙坂 謙次¹、佐藤 岳彦²、中嶋 智樹²、上原 聡司² (1.鶴岡高専、2.東北大)

キーワード：大気圧マイクロプラズマ流、シュリーレン法、乱流

著者はこれまで細径SUSパイプ電極をRF励起して大気圧μプラズマ流を生成してSiウエハやポリアミド薄膜の局所エッチングやDLC局所成膜に応用した。大気圧プラズマではガス流の制御が重要であり、エッチング形状や膜厚分布に影響を及ぼす。本研究では、シュリーレン法を用いて細径ノズルから噴射される大気圧μプラズマを可視化することで、ガス流量、細径ノズル‐基板間距離によるプラズマ流の状態を明らかにする。