[12a-PB3-1~16] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[12a-PB3-8] TEM-STMホルダーを用いたシリコンナノワイヤの作製

〇(M2)黒田 雄貴¹、大島 義文¹ (1.北陸先端大)

キーワード：シリコンナノワイヤ、透過型電子顕微鏡

シリコンナノワイヤは細くなると表面効果が顕著に表れるため、バルク結晶とは異なる電気伝導特性を示すと考えられているが、清浄な表面を持つ細いナノワイヤの電気伝導特性について報告された例はない。本研究では、走査型トンネル顕微鏡の仕組みを組み込んだ透過型電子顕微鏡ホルダー(TEM-STMホルダー)を用い、超高真空透過型電子顕微鏡内で、表面を清浄に保ちながらナノワイヤを作製し、電気伝導特性を計測することに取り組んだ。