[12a-W541-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12a-W541-4] HVPE法におけるマルチストライプマスクを用いたGaNの高品質化

〇池内 裕紀¹、金子 拓司²、井本 良¹、岡田 成仁¹、只友 一行¹ (1.山口大院・創成科学、2.山口大・工)

キーワード：HVPE、GaN