[12p-M111-1~13] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[12p-M111-11] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(XVⅢ)赤外吸収とSIMSの相互較正

〇井上 直久^1,2、川又 修一²、奥田 修一² (1.東京農工大工学院、2.大阪府立大放射線センター)

キーワード：シリコン結晶、炭素濃度測定、赤外吸収

シリコン中の炭素濃度の赤外吸収測定を第二世代法により検出下限10¹³定量下限10¹⁴/cm³で実用化したので、絶対測定法のSIMSと改めて較正した。2ｘ10¹⁴から2x10¹⁵/cm³で較正直線の勾配は換算係数0.82ｘ10¹⁷/cm²と切片は電子線照射人工参照試料の濃度5ｘ10¹³/cm³と一致した。SIMS測定したブロックゲージで装置を較正して他者と互換性のある正確な測定ができることを確かめた。