2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[12p-M113-1~9] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2019年3月12日(火) 13:15 〜 15:30 M113 (H113)

都甲 薫(筑波大)

13:45 〜 14:00

[12p-M113-3] 金誘起層交換成長法で作製したGe薄膜を用いた薄膜トランジスタ特性

東 英実1、笠原 健司2、山本 圭介3、工藤 康平1、山田 晋也1、金島 岳1、中島 寛4、〇浜屋 宏平1 (1.阪大基礎工、2.福大理、3.九大総理工、4.九大GIC)

キーワード:ゲルマニウム、金誘起層交換成長、薄膜トランジスタ