[12p-M116-1~12] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[12p-M116-10] 超精密切削加工によるLNOI光導波路の作製

〇(M2)上村 啓悟¹、多喜川 良²、中本 圭一¹ (1.東京農工大工、2.九大)

キーワード：LNOI光導波路、超精密切削加工

ニオブ酸リチウム結晶は優れた電気光学効果や非線形光学効果を有し，近年結晶内に強い光閉じ込めを可能とするLN on Insulator（LNOI）光導波路が注目されている．しかし従来のエッチング技術では平滑な側壁を持つリッジ型光導波路の作製は困難であった．そこでLN結晶の超精密切削加工に着目し，切込み深さをナノレベルにし繰り返し切削することで延性モード加工を行った．本研究では超精密切削加工により直線・曲線LNOI光導波路を実現した．