[9a-PA1-1~13] 9.4 熱電変換

△ [9a-PA1-1] 3ω法（熱伝導率測定）におけるpolyimide絶縁膜の有効性と界面熱抵抗の評価

〇森 凌太郎¹、黒川 拓也¹、田中 三郎²、宮崎 康次³、高尻 雅之¹ (1.東海大院工、2.日大工、3.九州工大工)

キーワード：熱電変換材料、熱伝導率、3ω法

3ω法(熱伝導率測定)に必要な絶縁膜にはSiO2膜がよく用いられるが，大型の設備を使用しての長時間成膜が必要となる．そこで本研究では，成膜が簡便なPolyimide薄膜をスピンコート法で作製し，3ω法におけるPolyimide絶縁膜の有効性と,同時に界面熱抵抗も評価する.Bi2Te3薄膜は膜厚を変化させて熱伝導率を測定した．測定した熱伝導率から熱抵抗を算出し，膜厚に対してプロットすることで界面熱抵抗を評価した．