[9a-PB2-1~9] 3.15 シリコンフォトニクス

[9a-PB2-5] 局所配向誘引構造を組み込んだ面内電界駆動液晶装荷シリコン細線MZ型光スイッチの作製

〇宇田 成孝^1,2、渥美 裕樹²、三浦 登¹、榊原 陽一^1,2 (1.明治大理工、2.産総研)

キーワード：光スイッチ、導波路、液晶

シリコン細線導波路のクラッドに液晶を装荷したスイッチングデバイスは小型化と低消費電力化が期待できる。このようなデバイスでは液晶の初期配向制御が重要である。これまで我々は、微細な溝配列による液晶の局所的な配向誘引構造を組み込んだ垂直電界駆動方式のマッハツェンダ型光スイッチを実現してきた。本研究では、この配向誘引技術をもう一つの代表的な液晶駆動方法である面内電界駆動のマッハツェンダ型光スイッチに導入した。