[9a-PB2-1~9] 3.15 シリコンフォトニクス

[9a-PB2-9] 直接貼付InP/Si基板における発振特性のアニール時間依存性

〇松浦 正樹¹、早坂 夏樹¹、韓 旭¹、相川 政輝¹、内田 和希¹、杉山 滉一¹、下村 和彦¹、石崎 隆浩¹、対馬 幸樹¹、白井 琢人¹ (1.上智大理工)

キーワード：半導体