講演情報

Tweet

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[9p-M114-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

2019年3月9日(土) 13:15 〜 15:45 M114 (H114)

長康雄(東北大)、葉文昌(島根大)

15:00 〜 15:15

[9p-M114-8] プラスチック上のフローティングゲートメモリ作製のための低温プロセス技術に関する研究

〇(M2)近藤史康¹、花房宏明¹、東清一郎¹ (1.広大院先端研)

キーワード：メモリ、PET