[9p-PA1-1~28] 6.4 薄膜新材料

△ [9p-PA1-13] 酸化バナジウム系非晶質薄膜の一軸加圧下熱処理と電気特性評価

〇中西 昴¹、岩佐 健¹、金子 智^2,1、木村 好里¹、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川県産技総研)

キーワード：酸化バナジウム、一軸加圧下熱処理、非晶質薄膜

酸化バナジウムは様々な酸化状態を示す半導体であり構造や物性が変化する。また温度に対して導電性が変化することも知られている。我々は酸化バナジウム系熱電変換材料に着目し，ガラスへの結晶析出とその基礎特性について報告してきた 。一方で非晶質の酸化バナジウム系薄膜において電気伝導率を改善することで変換効率の向上が期待できる。本研究では，一軸加圧下熱処理による結晶析出抑制ならびに電気特性への影響を評価した。